Karter ekskavatori uchun dvigatel bosimi sensori 2CP3-68 1946725

Bosim sensorini tayyorlash usuli, quyidagi bosqichlarni o'z ichiga oladi:

S1, gofretni orqa yuzasi va old yuzasi bilan ta'minlash; Gofretning old yuzasida piezorezistiv chiziqni va og'ir doplangan aloqa joyini shakllantirish; Gofretning orqa yuzasini ishqalash orqali bosimli chuqur bo'shliqni shakllantirish;

S2, gofretning orqa tomonidagi qo'llab-quvvatlash varag'ini yopishtirish;

S3, gofretning old tomonida qo'rg'oshin teshiklari va metall simlarni ishlab chiqarish va Wheatstone ko'prigini hosil qilish uchun piezorezistiv chiziqlarni ulash;

S4, gofretning old yuzasida passivatsiya qatlamini yotqizish va hosil qilish va passivatsiya qatlamining bir qismini ochish uchun metall yostiq maydonini hosil qilish. 2. 1-bandga muvofiq bosim sensori ishlab chiqarish usuli, bunda S1 maxsus quyidagi bosqichlarni o'z ichiga oladi: S11: gofretni orqa yuza va old yuza bilan ta'minlash va gofret ustidagi bosimga sezgir plyonka qalinligini aniqlash; S12: gofretning old yuzasida ion implantatsiyasi qo'llaniladi, piezorezistiv chiziqlar yuqori haroratli diffuziya jarayoni bilan ishlab chiqariladi va aloqa hududlari og'ir dopinglanadi; S13: gofretning old yuzasida himoya qatlamini yotqizish va shakllantirish; S14: bosimga sezgir plyonka hosil qilish uchun gofretning orqa tomonida bosim chuqur bo'shlig'ini chizish va shakllantirish. 3. 1-bandga muvofiq bosim sensori ishlab chiqarish usuli, bunda gofret SOI hisoblanadi.

1962 yilda Tufte va boshqalar. birinchi marta diffuz kremniy piezorezistiv chiziqlar va kremniy plyonka tuzilishi bilan piezorezistiv bosim sensori ishlab chiqardi va piezorezistiv bosim sensori bo'yicha tadqiqotlarni boshladi. 1960-yillarning oxiri va 1970-yillarning boshlarida uchta texnologiyaning paydo bo'lishi, ya'ni silikon anizotropik ishlov berish texnologiyasi, ion implantatsiyasi texnologiyasi va anodik bog'lash texnologiyasi bosim sensori ishini yaxshilashda muhim rol o'ynagan bosim sensoriga katta o'zgarishlar kiritdi. . 1980-yillardan boshlab, anizotropik ishlov berish, litografiya, diffuziya doping, ion implantatsiyasi, bog'lash va qoplama kabi mikro ishlov berish texnologiyasining yanada rivojlanishi bilan bosim sensori o'lchami doimiy ravishda kichrayib bordi, sezgirlik yaxshilandi va chiqish yuqori va yuqori. ishlash ajoyib. Shu bilan birga, yangi mikro ishlov berish texnologiyasini ishlab chiqish va qo'llash bosim sensori plyonka qalinligini aniq nazorat qiladi.