Dvigatel bosimi Sensor 2cp3-68 1946725 CARTER Ekvacator uchun

Quyidagi amallarni o'z ichiga olgan holda belgilar bosimni tayyorlash usuli:

S1, orqa yuzasi va old yuza bilan vovaorni ta'minlaydigan; Piezordiv tasma va gofretning old yuzasida og'ir doplangan aloqa joyini shakllantirish; Vovakning orqa yuzasini yutib, tazyiqni hosil qilish;

S2, WEFERTning orqa tomonidagi qo'llab-quvvatlash varag'ini bog'lash;

S3, bug'doy toshini shakllantirish uchun piezorstonning old tomonidagi teshik va metall simlarni ishlab chiqarish va piezorodson ko'kragini shakllantirish uchun etakchi chiziqlar va piezorodiv chiziqlarni ulash;

S4, dofirning old yuzasida yoki metall petka maydonini hosil qilish uchun passivatsiya qatlamining bir qismini omonat qilish va shakllantirish. 2. 1-da'vo bo'yicha bosimning ishlab chiqarish usuli, bu erda S1 quyidagi bosqichlarni o'z ichiga oladi: s.a. S12: ion implantatsiyasi faxrli va piezistriv chiziqlarning old yuzasida ishlatiladi, va yuqori haroratli chiziqlar bilan ishlab chiqariladi va aloqa hududlari og'ir; S13: Omonat qatlamini gofretning old yuzasida hosil qilish; S14: bosimni hosil qilish uchun bosimning orqa tomonidagi tazyiqlarni hosil qilish va shakllantirish. 3

1962 yilda Tuft va boshqalar. Birinchi marta tarqalgan kremniy pirovardining striplari va kremniy plyonka tuzilishi bilan piezorodsion bosimli bosimli bosimli bosimli bosimni ishlab chiqardi va piezordiv bosimli bosimli his-tuyg'ularni boshlagan. 1960 yillarning oxiri va 1970 yillarning boshlarida uchta texnologiya paydo bo'lishi, ya'ni kremnon anisotrop texnologiyasi, ion implantrop texnologiyasi va bosimni bog'lash texnologiyasi, bosim bosimining ta'sirini yaxshilashda muhim rol o'ynaydigan bosim bosimiga katta o'zgarishlar kiritdi. 1980-yillardan boshlab mikromatik etching, litografiya, diffaj doping, bog'lovchi doping, bog'lanish va qoplamalar, sezgirlik darajasi yaxshilandi va mahsulot juda yaxshi. Shu bilan birga, yangi mikromatering texnologiyasini ishlab chiqish va qo'llashda bosim sensori o'zgaruvchanligi aniq boshqariladi.