Passat yonilg'i umumiy temir yo'l bosim sensori 06E906051K uchun amal qiladi

1. Bosim sensorini shakllantirish usuli, quyidagilarni o'z ichiga oladi:

Yarimo'tkazgichli substratni ta'minlash, bunda yarimo'tkazgich substratida birinchi qatlamlararo dielektrik qatlam, birinchi qatlamlararo dielektrik qatlam va ikkinchi qatlamlararo dielektrik qatlam hosil bo'ladi.

Birinchi qatlamli dielektrik qatlamdagi pastki elektrod plitasi, pastki elektrod plitasi bilan bir xil qatlamda joylashgan va bir-biridan oraliqda joylashgan birinchi o'zaro elektrod.

Birlashtiruvchi qatlamlar;

Pastki qutbli plastinka ustidagi qurbonlik qatlamini shakllantirish;

Birinchi qatlamlararo dielektrik qatlamda, birinchi o'zaro bog'lanish qatlamida va qurbonlik qatlamida yuqori elektrod plitasini shakllantirish;

Qurbonlik qatlamini hosil qilgandan so'ng va yuqori plitani shakllantirishdan oldin, birinchi o'zaro bog'lanish qatlamida

Aloqa yivini shakllantirish va birinchi o'zaro bog'lanish qatlami bilan elektr bilan bog'lanish uchun ulanish yivini yuqori plastinka bilan to'ldirish; Yoki,

Yuqori elektrod plitasini hosil qilgandan so'ng, yuqori elektrod plitasida va birinchi o'zaro bog'lanish qatlamida birlashtiruvchi oluklar hosil bo'ladi.

Yuqori elektrod plitasini va ulanish yividagi birinchi o'zaro bog'lanish qatlamini birlashtiruvchi Supero'tkazuvchilar qatlamni shakllantirish;

Yuqori plitani va birinchi o'zaro bog'lanish qatlamini elektr bilan bog'lagandan so'ng, bo'shliq hosil qilish uchun qurbonlik qatlamini olib tashlash.

2. 1-bandga muvofiq bosim sensorini shakllantirish usuli, bunda birinchi qatlamda

Qatlamlararo dielektrik qatlamda qurbonlik qatlamini shakllantirish usuli quyidagi bosqichlarni o'z ichiga oladi:

Birinchi qatlamlararo dielektrik qatlamga qurbonlik material qatlamini yotqizish;

Qurbonlik qatlamini hosil qilish uchun qurbonlik materiali qatlamini naqshlash.

3. 2-bandga muvofiq bosim sensorini shakllantirish usuli, bunda fotolitografiya va gravyura qo'llaniladi.

Qurbonlik materiali qatlami kazıma jarayoni bilan naqshlangan.

4. 3-bandga muvofiq bosim sezgichini shakllantirish usuli, bunda qurbonlik qatlami

Material amorf uglerod yoki germaniydir.

5. 4-bandga muvofiq bosim sezgichini shakllantirish usuli, bunda qurbonlik qatlami

Material amorf ugleroddir;

Qurbonlik materiali qatlamini qirqish jarayonida qo'llaniladigan etching gazlariga O2, CO, N2 va Ar;

Qurbonlik materiali qatlamini o'rash jarayonidagi parametrlar: O2 ning oqim diapazoni 18 SCCM ~ 22 SCCM, CO ning oqim tezligi esa 10%.

Oqim tezligi 90 SCCM dan 110 SCCM gacha, N2 ning oqim tezligi 90 SCCM dan 110 SCCM gacha va Ar oqim tezligi.

Diapazon 90 SCCM ~ 110 SCCM, bosim diapazoni 90 mtor ~ 110 mtor va kuchlanish quvvati

540w ~ 660w.