06E906051k passi bilan mos keladigan yonilg'i yoqilg'isi

1. Bosim sensorini shakllantirish usuli:

Yarim mitsep substratda birinchi interlinik dielektsion qatlamli birinchi interlinik dielektsion qatlam va ikkinchi interlinik dielektsion qatlam bilan yarimo'tkazgichli substrat bilan ta'minlash.

Birinchi interlinik dielektsiyasida pastki elektrod plastinkasi, birinchi navbatda pastki elektrod plastinkasi bilan bir xil qatlamda joylashgan va bir-biridan ajratilgan.

Ulanish qatlamlari;

Pastki polar plita ustidagi qurbonlik qatlamini shakllantirish;

Birinchi interleter dielektsion qatlamidagi yuqori elektrod plastinkasini shakllantirish, birinchi o'zaro bog'liqlik qatlami va qurbonlik qatlami;

Qurbonlik qatlamini shakllantirgandan so'ng va yuqori plastinka hosil qilishdan oldin, birinchi o'zaro bog'liqlik qatlamida

Ulanishni shakllantirish va ulanishni yuqori plastinka bilan to'ldirish birinchi plastinka bilan birinchi plastinka bilan birinchi plastinka bilan to'ldiring; Yoki

Yuqori elektrod plastinkasini shakllantirgandan so'ng, groovlarni ulash yuqori elektrod plastinkasida va birinchi o'zaro bog'liq qatlamda hosil bo'ladi

Yuqori elektrod plastinkasini va ulanishda birinchi o'zaro bog'liqlik qatlamini bog'laydigan bir harakatli qatlamni shakllantirish;

Elektrdan yuqori plastinka va birinchi o'zaro bog'liqlik qatlamini ulangandan so'ng, fratbozlik qatlamini bo'shatishni olib tashlang.

2. 1-qavatda 1-chi da'vo bo'yicha bosimni sezuvchi deb shakllantirish usuli

Millyatsiya dielektsiyasining dielektsiyasiga qurbonlik qatlamini shakllantirish usuli quyidagi bosqichlarni o'z ichiga oladi:

Qurbonlik modernitori birinchi interlinik dielektsiyasida saqlash;

Qurbonlik qilish uchun qurbonliklar qatlamini qurbonlik qilish uchun tutar.

3

Qurbonlik qilinadigan moddiy qatlam etching jarayoni bilan naqshli.

4

Material amorf uglerod yoki germaniydir.

5. 4-bandiga ko'ra bosimni sezuvchi bo'lish usuli, ularda qurbonlik qatlami

Material amorf ugleroddir;

Qurbonlik qilish jarayonida ishlatiladigan gazlar O2, CO, N2 va Arga olingan gazlarni o'z ichiga oladi;

Qurbonlik qilish jarayonida parametrlar: O2ning oqim oralig'i 18 skcm ~ 22 SCCM va CO oqimi 10% ni tashkil qiladi.

Oqim darajasi 90 SCCMdan 110 SCCMgacha, 80 SCCMdan 110 SCCM va AR oqimi darajasi 80 SCCMning aylanish darajasi.

Reklama 90 SCCM ~ 110 SCCM, bosim oralig'i 90 mtiy ~ 110 Mtor, va xiyonat

540w ~ 660w.