Piezorodiv sensorning tuzilishi

Bu sensorda rezerrystallin silika diafragida silika piezordiv chipi qilish uchun integratsiya jarayoni bo'yicha integratsiya jarayoni bo'yicha integratsiya jarayoni va ushbu chipning periferi qobiqqa qadoqlangan. Qattiq davlat bosimi deb nomlanuvchi pizezorytiv bosimli bosimli sensor, tashqi kuchlarni elastik sezgir elementlar orqali sezgirlik bilan sezgir, ammo bevosita silliq diafragm orqali bevosita his qiladi.

Silikon diafragmasining bir tomoni yuqori bosimli bo'shliqdir, ammo boshqa tomoni atmosfera bilan muloqot qiladigan past bosim bo'shlig'idir. Umuman olganda, kremniy diafragmasi sekundi periferiya bilan aylanadi va diametri qalinligi 20 ~ 60 ga teng, ularning ikkitasi didasfera markaziga nisbatan ikki baravar ko'prikka o'xshaydi, ular diafragma markaziga nisbatan mustahkamlangan.

Bundan tashqari, kvadrat silikon diafragmasi va silikon ustun sensori ham mavjud. Silikon silindrsimon sensori, shuningdek, kremniy tsilindrining kristall tekisligining ma'lum bir yo'nalishda tarqalib, ikkita siqish stressli chiziqlar va ikkita siqish stressli chiziqlari to'liq ko'prikni shakllantiradi.

Piezorodsion sensor - yarimo'tkazgich materialining piezordiv ta'siriga muvofiq yarimo'tkazgich materialining substrati bo'yicha diffuziya qarshilik ko'rsatgan qurilma. Uning substratini to'g'ridan-to'g'ri o'lchash sensori sifatida ishlatilishi mumkin va diffasallik qarshilik ko'prik shaklida substratda ulanadi.

Substrat tashqi kuch bilan deformatsiyalanganda, qarshilik ko'rsatilishi o'zgaradi va ko'prik tegishli ravishda tegishli chiqishni ishlab chiqaradi. Piezorodiv sensorlar sifatida ishlatiladigan substratlar (yoki diafraggms) asosan kremniy devori va germaniy giyohvand moddalardir. Silikon gofretlardan tayyorlangan silikon piezaryytriv sensorlari sezgir materiallar ko'proq e'tiborni jalb qildi, ayniqsa, o'lchash bosim va tezlikni o'lchash uchun kuchli holatli piezaryy datchiklari eng ko'p qo'llaniladi.