Hitachi KM11 moy bosimi sensori EX200-2-3-5 uchun javob beradi

Bosim sensorining to'rtta bosim texnologiyasi

1. Kapasitiv

Kapasitiv bosim sensorlari odatda ko'p sonli OEM professional ilovalari tomonidan ma'qullanadi. Ikki sirt orasidagi sig'im o'zgarishini aniqlash bu sensorlarga juda past bosim va vakuum darajasini sezish imkonini beradi. Bizning odatiy sensor konfiguratsiyamizda ixcham korpus ikkita bir-biriga yaqin joylashgan, parallel va elektr izolyatsiyalangan metall yuzalardan iborat bo'lib, ulardan biri asosan bosim ostida biroz egilishi mumkin bo'lgan diafragmadir. Ushbu mustahkam mahkamlangan sirtlar (yoki plitalar) yig'ilishning egilishi ular orasidagi bo'shliqni o'zgartiradigan tarzda o'rnatiladi (aslida o'zgaruvchan kondansatör hosil qiladi). Olingan o'zgarish mutanosib yuqori darajadagi signalni kuchaytiradigan va chiqaradigan (yoki ASIC) sezgir chiziqli taqqoslash sxemasi tomonidan aniqlanadi.

2.CVD turi

Kimyoviy bug 'cho'kishi (yoki "CVD") ishlab chiqarish usuli polisilikon qatlamini zanglamaydigan po'latdan yasalgan diafragma bilan molekulyar darajada bog'laydi va shu bilan uzoq muddatli a'lo darajadagi drift ishlashi bilan sensorni ishlab chiqaradi. Umumiy partiyalarni qayta ishlash yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish usullari juda mos narxda mukammal ishlashga ega polisilikon deformatsiya o'lchagich ko'priklarini yaratish uchun ishlatiladi. CVD tuzilishi mukammal narx ko'rsatkichlariga ega va OEM ilovalaridagi eng mashhur sensordir.

3. Spyuter plyonka turi

Plyonkani cho'ktirish (yoki "plyonka") maksimal kombinatsiyalangan chiziqlilik, histerezis va takrorlanuvchanlikka ega sensorni yaratishi mumkin. Aniqlik to'liq o'lchovning 0,08% gacha bo'lishi mumkin, uzoq muddatli drift esa har yili to'liq shkalaning 0,06% gacha past bo'ladi. Asosiy asboblarning g'ayrioddiy ishlashi - bizning purkalgan yupqa plyonkali sensorimiz bosimni sezish sanoatidagi xazinadir.

4.MMS turi

Ushbu sensorlar bosim o'zgarishini aniqlash uchun mikro-mashinali silikon (MMS) diafragmalaridan foydalanadilar. Kremniy diafragma muhitdan moy bilan to'ldirilgan 316SS tomonidan ajratiladi va ular texnologik suyuqlik bosimi bilan ketma-ket reaksiyaga kirishadi. MMS sensori ixcham sensor paketida yuqori kuchlanish qarshiligi, yaxshi chiziqlilik, mukammal termal zarba ishlashi va barqarorlikka erishish mumkin bo'lgan umumiy yarimo'tkazgich ishlab chiqarish texnologiyasini qabul qiladi.