Yarimo'tkazgichli bosim datchiklarini ikkita toifaga bo'lish mumkin, ulardan biri yarimo'tkazgichli PN birikmasining (yoki shottki birikmasining) I-y xarakteristikalari stress ostida o'zgarishi printsipiga asoslanadi.Ushbu bosimga sezgir elementning ishlashi juda beqaror va juda rivojlanmagan.Ikkinchisi yarimo'tkazgichli bosim sensori asosiy navi bo'lgan yarimo'tkazgichli piezorezistiv effektga asoslangan sensordir.Dastlabki davrlarda har xil kuchlanish va deformatsiyalarni oʻlchash asboblarini yasash uchun yarimoʻtkazgichli deformatsiya oʻlchagichlar asosan elastik elementlarga biriktirilgan.1960-yillarda yarimo'tkazgichli integral mikrosxema texnologiyasining rivojlanishi bilan piezorezistiv element sifatida diffuziya qarshiligi bo'lgan yarimo'tkazgichli bosim sensori paydo bo'ldi.Ushbu turdagi bosim sensori oddiy va ishonchli tuzilishga ega, nisbatan harakatlanuvchi qismlarga ega emas va sensorning bosimga sezgir elementi va elastik elementi birlashtirilgan bo'lib, bu mexanik kechikish va emirilishdan qochadi va sensorning ish faoliyatini yaxshilaydi.

Yarimo'tkazgichning piezorezistiv effekti Yarimo'tkazgich tashqi kuch bilan bog'liq xususiyatga ega, ya'ni qarshilik (r belgisi bilan ifodalangan) u ko'targan kuchlanish bilan o'zgaradi, bu piezorezistiv effekt deb ataladi.Birlik kuchlanish taʼsirida qarshilikning nisbiy oʻzgarishiga piezorezistiv koeffitsient deyiladi, u p belgisi bilan ifodalanadi.Matematik jihatdan r/r = p s shaklida ifodalanadi.

Bu erda s stressni ifodalaydi.Stress ostida yarimo'tkazgich qarshiligidan kelib chiqadigan qarshilik qiymatining o'zgarishi (R/R) asosan qarshilikning o'zgarishi bilan belgilanadi, shuning uchun piezorezistiv effekt ifodasini R/R=ps shaklida ham yozish mumkin.

Tashqi kuch taʼsirida yarimoʻtkazgich kristallarida maʼlum kuchlanish (s) va deformatsiya (e) hosil boʻladi va ular orasidagi bogʻlanish materialning Yang moduli (Y) bilan belgilanadi, yaʼni Y=s/e.

Agar piezorezistiv effekt yarimo'tkazgichdagi kuchlanish bilan ifodalansa, u R/R=Ge bo'ladi.

G bosim sensorining sezgirlik omili deb ataladi, bu birlik kuchlanish ostida qarshilik qiymatining nisbiy o'zgarishini ifodalaydi.

Piezorezistiv koeffitsient yoki sezgirlik omili yarimo'tkazgichning piezorezistiv ta'sirining asosiy jismoniy parametridir.Ular orasidagi munosabatlar xuddi kuchlanish va deformatsiya o'rtasidagi bog'liqlik kabi, materialning Young moduli bilan belgilanadi, ya'ni g = p y.

Elastiklikda yarimo'tkazgich kristallarining anizotropiyasi tufayli Yang moduli va piezorezistiv koeffitsient kristall orientatsiyasi bilan o'zgaradi.Yarimo'tkazgichning piezorezistiv ta'sirining kattaligi ham yarim o'tkazgichning qarshiligi bilan chambarchas bog'liq.Qarshilik qanchalik past bo'lsa, sezgirlik omili shunchalik kichik bo'ladi.Diffuziya qarshiligining piezorezistiv ta'siri kristall yo'nalishi va diffuziya qarshiligining nopoklik kontsentratsiyasi bilan belgilanadi.Nopoklik kontsentratsiyasi asosan diffuziya qatlamining sirt nopoklik kontsentratsiyasini anglatadi.