Tez-tez ishlatiladigan yarimo'tkazgichli bosim sensori substrat sifatida N-tipli silikon gofretdan foydalanadi. Birinchidan, kremniy gofreti ma'lum bir geometriyaga ega bo'lgan elastik kuchlanishli qismga aylanadi. Silikon gofretning stressga chidamli qismida turli kristall yo'nalishlar bo'ylab to'rtta P tipidagi diffuziya rezistorlari ishlab chiqariladi va keyin bu to'rtta rezistor bilan to'rt qo'lli Wheatstone ko'prigi hosil bo'ladi. Tashqi kuch ta'sirida qarshilik qiymatlarining o'zgarishi elektr signallariga aylanadi. Bosim effektiga ega bo'lgan bu bug'doy ko'prigi bosim sensori yuragi bo'lib, u odatda piezorezistiv ko'prik deb ataladi (1-rasmda ko'rsatilganidek). Piezorezistiv ko'prikning xarakteristikalari quyidagilardan iborat: ① ko'prikning to'rtta qo'lining qarshilik qiymatlari teng (barchasi r0); ② Ko'prikning qo'shni qo'llarining piezorezistiv ta'siri qiymat jihatidan teng va ishoraga qarama-qarshidir; ③ Ko'prikning to'rt qo'lining qarshilik harorat koeffitsienti bir xil va ular doimo bir xil haroratda. Shaklda. 1, R0 - xona haroratida stresssiz qarshilik qiymati; RT - harorat o'zgarganda qarshilikning harorat koeffitsienti (a) tufayli yuzaga keladigan o'zgarish; D Rd - kuchlanish (e) ta'sirida qarshilikning o'zgarishi; Ko'prikning chiqish kuchlanishi u=I0 D Rd=I0RGd (doimiy oqim manbai ko'prigi).

Bu erda I0 doimiy oqim manbai oqimi va e doimiy kuchlanish manbai kuchlanishi. Piezorezistiv ko'prikning chiqish kuchlanishi kuchlanish (e) ga to'g'ridan-to'g'ri proportsionaldir va qarshilikning harorat koeffitsientidan kelib chiqqan RT bilan hech qanday aloqasi yo'q, bu sensorning harorat o'zgarishini sezilarli darajada kamaytiradi. Eng ko'p ishlatiladigan yarimo'tkazgichli bosim sensori suyuqlik bosimini aniqlash uchun sensordir. Uning asosiy tuzilishi monokristalli kremniydan tayyorlangan kapsuladir (2-rasmda ko'rsatilganidek). Diafragma chashka shaklida qilingan va idishning pastki qismi tashqi kuchni ko'taruvchi qismdir va bosim ko'prigi stakanning pastki qismida amalga oshiriladi. Halqa poydevori bir xil kremniyli monokristalli materialdan tayyorlanadi, so'ngra diafragma poydevorga ulanadi. Ushbu turdagi bosim sensori yuqori sezuvchanlik, kichik hajm va mustahkamlik afzalliklariga ega va aviatsiya, kosmik navigatsiya, avtomatlashtirish asboblari va tibbiy asboblarda keng qo'llaniladi.